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　　(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 8.4(22)申请日 2019.12.31(71)申请人 共达电声股份有限公司地址 261000 山东省潍坊市坊子区凤山路68号(72)发明人 何宪龙(74)专利代理机构 深圳市沈合专利代理事务所(特殊普通合伙) 44373代理人 沈祖锋吴京隆(51)Int.Cl.B81B 7/02 (2006.01)B81C 1/00 (2006.01) (54)发明名称MEMS膜片及MEMS传感器芯片(57)摘要本发明提供一种MEMS膜片及MEMS传感器芯片，所述MEMS膜片包括感测部和围绕在所述感测部外围的外围部，所述外围部与所述感测部之间设有若干外槽和两个内槽，be365体育平台所述若干外槽呈环形排布在所述外围部的内边缘，所述两个内槽呈环形排布在所述感测部的外边缘，所述内槽的末端朝向内侧延伸，所述两个内槽关于所述感测部的中心对称。be365体育平台权利要求书1页 说明书5页 附图2页CN 111115557 A2020.05.08CN 111115557 A